當(dāng)前TOPCon電池技術(shù)已替代PERC電池成為市場主流，市占率超過80%，市場規(guī)模突破800GW。然而，技術(shù)迭代的步伐并未停歇。憑借更高的轉(zhuǎn)換效率和極致美觀度，BC(背接觸)電池正于高端分布式市場快速崛起。面對(duì)這一發(fā)展趨勢，國內(nèi)多家光伏設(shè)備廠商對(duì)TOPCon與BC電池技術(shù)路線的深度機(jī)理研究及應(yīng)用開發(fā)，攻克現(xiàn)有TOPCon產(chǎn)線升級(jí)BC的技術(shù)瓶頸與難點(diǎn)。

據(jù)悉，經(jīng)過數(shù)年技術(shù)攻關(guān)，江蘇微導(dǎo)納米科技股份有限公司在BC電池技術(shù)領(lǐng)域取得突破。其自主研發(fā)的硼擴(kuò)散，磷擴(kuò)散，LPCVD、PE-ToxPoly等關(guān)鍵設(shè)備，陸續(xù)成功應(yīng)用于BC電池量產(chǎn)，有效解決了TOPCon產(chǎn)線升級(jí)BC產(chǎn)線的技術(shù)瓶頸，同時(shí)結(jié)合微導(dǎo)納米ALD及PECVD設(shè)備在BC電池上的穩(wěn)定量產(chǎn)表現(xiàn)，標(biāo)志著微導(dǎo)納米在BC電池高溫及真空設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域率先實(shí)現(xiàn)重大突破，奠定了其在該領(lǐng)域的技術(shù)領(lǐng)先地位。

在技術(shù)推進(jìn)過程中，微導(dǎo)納米充分發(fā)揮其在真空設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域、Poly工藝原創(chuàng)性開發(fā)應(yīng)用領(lǐng)域以及整線工藝整合領(lǐng)域的經(jīng)驗(yàn)積累，直面BC電池量產(chǎn)中存在的技術(shù)瓶頸，如Poly技術(shù)路線單一，薄膜及產(chǎn)能匹配失衡，運(yùn)營成本居高不下等問題。通過將PE-ToxPoly原位磷硼摻雜技術(shù)引入BC產(chǎn)線，并取得關(guān)鍵技術(shù)突破，實(shí)現(xiàn)了BC電池的Poly技術(shù)多樣化，為TOPCon升級(jí)BC電池提供了又一低成本的選擇。

基于以上技術(shù)突破，微導(dǎo)納米在TOPCon3.0產(chǎn)品基礎(chǔ)上成功開發(fā)出BC整線解決方案。通過在TOPCon產(chǎn)線上引入部分設(shè)備，并對(duì)兼容的設(shè)備進(jìn)行有限改造，即可達(dá)成從TOPCon技術(shù)升級(jí)到BC技術(shù)的目的。區(qū)別于傳統(tǒng)的LPCVD路線的BC方案，本方案的最大亮點(diǎn)是基于PE-ToxPoly原位磷硼摻雜路線的BC技術(shù)方案，該方案與市場主流的TOPCon電池升級(jí)BC具有極佳的兼容性，預(yù)計(jì)將大幅度降低升級(jí)成本和量產(chǎn)成本，由于PE-ToxPoly路線天然的低設(shè)備投入、低維護(hù)及運(yùn)營成本，此技術(shù)的突破預(yù)計(jì)將為BC技術(shù)更進(jìn)一步的提效與降本提速，快速推動(dòng)BC電池的發(fā)展及光伏技術(shù)的迭代。